第三百五十三章 参观
两人正说着话,确没有重视带路的人已经停下了脚步,劈面俄然传来周硕说话的声音。
也就是说intel在1997年的时候就要动手进级出产线,非论是尼康也好,阿斯麦也好,在0.25微米工艺上都是只差临门一脚。
在光刻机最后一组镜头的上面,有别于尼康的设备,泛翰研讨所的光刻机分外多出了一个玻璃罩。玻璃罩的摆布有两个小水管。白石茉莉奈晓得,那是注入纯水的通道。玻璃罩的上面到和晶圆上的光刻胶为止,现在应当已经注满了高纯度的去离子水。
周硕挑了挑眉毛,想都没想的点头道:“当然能够,实际上我正想演示一下它的运转过程。如果便利的话,白石经理请你帮手操纵一下中间的光源体系。”
“颠末改装后,它的加工才气达到了0.352微米程度。遗憾的是固然加工才气晋升,但它的良品率也降落了百分之十。”
“你要带我们观光泛翰个人的沉浸式光刻技术?”鹤田瞪大了眼睛,不成置信的问道。
“鹤田专务、白石经理,几天不见辛苦二位来往驰驱了。”周硕驯良的笑着,刻薄的笑容看起来仿佛是座弥勒佛。
算上尼康让渡的0.5微米技术。以及泛翰个人把握的沉浸式光刻技术,最多也就是能实现0.35微米工艺罢了。
跟着设置的结束,一旁储存晶圆的柜子里,在纤细的电机声中俄然转动了起来。一片晶圆在机器手的操纵下被奉上了光刻台,已经涂好光刻胶的晶圆在对准体系的操纵下,进入了筹办接管激光晖映的位置……
白石茉莉奈皱着眉点了点头。说道:“确切,中国人之前就利用了近似的手腕,泛翰个人通过埋没在华晶身后。获得了我们0.5微米光刻机的成套技术。如果说他们还想获得我们的整套出产设备,以及更先进的、正在研发中的光刻机技术。把合伙工厂设在中国就是一个最好的体例。”
与此同时他本身也站在光刻机另一边的机柜旁,开端在键盘上操纵起节制电脑来。白石茉莉奈对尼康自产的光刻机当然非常熟谙,在周硕的批示下也很快对光源体系停止了设置。
“周总。”鹤田和周硕握过了手,四下打量一下问道:“这是那里?我觉得我们是要在办公室见面。”
第一代的pentium2实际上1997年就上市了,而1998年1月公布的deschutes核心的pentium2,就已经开端利用0.25微米工艺。
她说完,抬开端看向鹤田问道:“那么。鹤田专务的意义呢?要停止和泛翰个人的合作吗?”
真正的高纯度去离子纯水有些微微偏蓝,而不是我们惯常见到的透明色。白石茉莉奈只能通过机器操纵的对准体系运转,来判定光刻机是否在事情。因为她是看不到激光色彩的,这是因为光刻的激光高度集合底子不会散射出来,人眼天然也就无看到激光的存在。
带着如许的迷惑,鹤田和白石茉莉奈双双跟着周硕走进了地下尝试室的大门。
作为他的作品,泛翰帝都研讨所里的景色设想,即便在夏季也一样能够感遭到植物的绿色生机。进入三月以后,四时花草也都已经垂垂复苏,亭台楼榭之间点点绿色装点,更是增加了很多让民气旷神怡的元素。
内里出来的经济学家挨个枪毙有冤枉的,但隔一个杀一个必定有漏网的。归正只要拿出钱来,想找个代言的还是很简朴的。海内这些“砖家”、“叫兽”名声不就是这么坏掉的?
“没错,我聘请鹤田先生和白石经理,一起观光我们泛翰研讨院的尝试室。”周硕笑眯眯的必定答复道。
鹤田和白石茉莉奈安步在泛翰研讨院精美的园区里,贝聿铭老先生可不但是西学大师,对中国园林设想一样是有很学习诣的。
“这个……”鹤田有些踌躇了起来,不甘心的说道:“目前还只是猜想,明天见过周桑以后再下定夺吧。”
周硕瓮声瓮气的声音,从防尘面罩前面陆连续续的传了出来:“这是泛翰研讨所的蜂巢尝试室,卖力光刻机沉浸式技术的研发。沉浸式的研发要点统共有三个部分,别离是光源、镜头和防水光刻胶的研制。”
周硕呵呵笑了一下,指着本身身后说道:“这是我们泛翰个人停止光刻机研讨的尝试室,之前鹤田先生想要观光沉浸式光刻技术,我看择日不如撞日,就明天好了。”
公然,周硕指着这台两人高的机器说道:“二位,这就是我们泛翰研讨院改装以后,机能已经达到0.35微米的尼康光刻机了。”
但是在如许高雅的环境里。鹤田却完整没有一丝赏识的表情。他和白石茉莉奈远远的吊在带路人的前面,小声的用日语在扳谈着。
“白石部长,你有没有感觉这个过程太顺利了点……”鹤田皱着眉头,在白石茉莉奈耳边说道。
鹤田和白石茉莉奈对视一眼,纷繁看到了对方眼里的惊奇。在这个特别的时候点,眼看着两边合作能够流产的时候,周硕竟然安排他们观光泛翰个人最大的底牌!这是为甚么?
白石茉莉奈抓住机遇,俄然打断了周硕的话说道:“周桑,我能离近了察看一下吗?”
“一定没有这类能够啊。”鹤田迟疑了一下,这才说道:“我们两人都是附和合伙的,以是有些话我就不消避讳了。”
周硕倒是不如何在乎保密的题目,如果来两小我看两眼、听两句科普就能把技术抄了去,那这类技术也没有甚么保密的需求了。沉浸式光刻技术在汗青上但是持续研讨了十多年,才逐步投入利用的技术。真如果构成论文,毫不会少于一个尼康运质料的木箱。在后代是几种影响线宽身分中,非常首要的一个方面。
周硕站在一旁,双手抱胸看向两小我,不咸不淡的笑道:“如何样,我们泛翰个人对尼康光刻机的改革,白石经理还看得过眼么?”
尼康的行动还是很快的,毕竟留给他们的时候并不是很多。
在这类两边都掐着表合作的时候,尼康只要另有一些野心,就不会答应时候如此白白华侈。非论是建立合伙公司,还是抓紧时候本身研发,都已经到了必须从速作出决定的时候了。
周硕没有等候太久,尼康阐扬了它国际顶级企业的程度。像这类至公司,只要想不想做的事情,决然没有想做却做不到的事情。只要肯支出本钱,一大把的渠道情愿为其所差遣。海内或许没有美国那样的专职游说公司,但社科院里出反贼也是有传统的。
他边走边侃侃而谈道:“我们的光源利用的是365nm的i线弧光灯光源,如许在颠末纯水的折射以后,它的波长就变成了260nm。而纯水,必须是9个9纯度的去离子水。至于说沉浸式光刻最大的技术停滞,那必定就是防水光刻胶了。浅显光刻胶是没法在水中保持不分散的,以是必须利用特制的……”
他们向尝试室内部走去,很快就到了一台机器前面。很较着,白石茉莉奈一眼就看出来,这是一台尼康出产的0.5微米光刻机。此时它能够呈现在这里,不言自明是作为改装尝试设备。
他明天穿了一身研讨员穿的白大褂,和海内惯常的棉布料白大褂分歧,他这件格式上固然没有甚么特别,但整小我穿起来却显得格外笔挺。明显在这件白大褂的质料上,是利用了非常高贵的西装面料。
颠末穿戴防尘服和除尘通道以后,三小我进入了尝试室内部。鹤田望着这庞大的地下空间,不由得有些眼晕。究竟上这类密闭的地下空间,也确切比较轻易引发一些人的心机反应。
白石茉莉奈目不转睛的透过玻璃窗,看着正在运转中的光刻机镜头。
同理,要中国当局承诺出口0.25微米光刻机。这本来就是空对空的事情。想出口?行啊,归正我们现在还没有这个技术呢。
他想了想,有些担忧的说道:“从中国电子产业部和国防科工委要求制止沉浸式光刻技术出口开端。到周桑抛出来的建厂计划,以及比来在中国高层中获得的停顿来看,我很担忧这又是一次诡计。目标能够是为了我们的出产技术,又或者是想要我们供应更先进的光刻机设备。”
白石茉莉奈想了想,不成置信的说道:“鹤田专务的意义是,这实在是中国人的战略?”
书归正传,尼康颠末一周时候的尽力,多少还是有些收成的。起码从比较高的层次上,获得了一个精确的动静――海内并不会反对0.25微米工艺的光刻机向外洋出口。中国当局当然不会反对,有人说你彩票中了一亿的时候,借给我一百万行不可?当然行了。归正我又不会中一亿彩票。
说完,他也不睬白石茉莉奈的反应,转过身来向鹤田问道:“我不说的话,想必鹤田先生必定是在思疑,我们泛翰个人又在耍把戏棍骗尼康的技术吧?”