第三百九十六章 投影曝光
掩膜版投射的镜头需求与硅片停止完整的打仗，打仗中乃至要抽成真空状况。然后光源体系的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把如许的晶圆放到蚀刻机内里，化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再把晶圆转移到离子注入机长停止离子注入……
从0.35微米工艺都没提高的程度。直接跳到0.18微米，能够设想这会在市场上掀起如何的腥风血雨。
如果没有周硕的滋扰，从0.35微米工艺向0.25微米工艺过渡的光刻机，实在汗青上实际利用的是步进反复投影暴光技术。..xstxt..
“纳尼？”鹤田坐直了身材，目光猛的端庄了起来：“周桑这话是甚么意义，51%已经是尼康持股的底线了，这个前提是不容会商的题目！”
日本人费经心机弄到了防水光刻胶的技术，本来他们这个技术起码是能够吃一代光刻机没题目的。汗青上，初期沉浸式光刻机体系也是利用防水光刻胶的靠近式光刻机，直到投影式光刻机成为支流防水光刻胶才退出了汗青舞台。
“谈甚么？”周硕抱着胸，笑吟吟的问道。
就仿佛挪动吞了用户的月残剩流量，绝大多数挪动收集用户都不会说这不公道，即便不公道也要有这个本钱去和把持本钱构和啊！
鹤田的神采跟着他看完整个受权专利证书以后，就黑的仿佛一块锅底的黑炭了。任谁在看到自家破钞巨资研收回来的技术。转眼就被人给淘汰掉了，内心肯建都会恨不得把对方给咬死。
“鹤田桑敢做不敢认，这就太没有男人汉气势了。”周硕淡淡的说道：“既然尼康不想收买我手里的股分了，那我们就谈谈你们手里那51%的股分吧。”
“好吧，周桑。”鹤田呼出一口气，这类胜利即将到手却被人绝地翻盘的感受，实在是太伤士气了。他强打精力抬开端来，看向周硕说道：“既然环境呈现了窜改，尼康能够重新考虑本来的要求。违约金、退股和迁徙出产线这些题目，我们都能够好好谈一谈……”
“呃，谈谈你手里的技术。”鹤田老脸一红，如许的窜改未免过分生硬了一些，不过这时候却也顾不得了：“说实话为了实现利润最大化，现在就公布投影步进式光刻技术并不是一个好主张。要我说大可当作储备技术，等我们在沉浸式光刻机上面赚到对劲以后，再放出这项技术来。”
对于沉浸式光刻技术而言。投影式暴光技术最大的好处就是――制止了利用防水光刻胶的高本钱。
这类技术说白了，就是仿佛平常用放大镜堆积太阳光一样。用棱镜体系将光源从远处投射到硅片上。如许颠末几次聚焦、折射、再聚焦，终究投影到硅片上的图形比掩膜版乃至能够小上4倍。
intel现在是求着尼康供货，而不是尼康求着intel。这五个亿美圆的违约金好拿不好用，除非intel今后再也不进级光刻机工艺程度，不然如何敢这么获咎尼康？
即便如此，他仍然叮咛部下让人去查询相干的专利环境。一纸证书能够表现的东西有限，专利注册的时候需求供应很多技术思路，说不定也会有所收成。不过那都是今后的事情了，现在周硕表示的来的气力，却不答应他再肆无顾忌的打压下去。
在鹤田和统统日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，归正搞举国体制不恰是共产国际的刚强嘛！
你们要不要这么逆天？！
步进投影技术不但能摆脱对防水光刻胶的依靠。更首要的是只要稍作优化，立即就又能把光刻机制程技术向前推动一个期间……
鹤田如何会不晓得周硕说的是甚么，恰是因为他晓得，以是才心中惊骇万分。尼康和intel签订的合约不说是绝对奥妙，但也不是谁想晓得都能晓得的。固然对此次条约提出了这么高的违约金感到奇特，但因为完整把握了光刻机市场，尼康并没有过分在乎。
“周桑这话是甚么意义？”鹤田的脸上可贵呈现了一丝慌乱，强笑道：“你知不晓得尼康是甚么公司，岂是能说停业就停业的？”
“周桑……这个文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋里一团乱麻，只能问出这么没有营养的题目了。
这个年代里，日本人不但是高傲的，并且也非常有高傲的本钱。全部九十年代，天下十大晶圆厂，日本人占了半数还多！
鹤田背靠在椅子上，心知这类事情是不成能作假的。只要他一个电话畴昔，用不了半个小时查询成果就能出来，耍这类把戏毫偶然义。
“这么说吧――”周硕悄悄的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，垂垂收敛起笑容道：“停业和出售光刻机子公司，尼康挑选哪个？”
他对反复投影式暴光技术并不陌生，如果说沉浸式光刻技术是左道傍门，那投影式暴光就是王谢正道！光刻机晋升机能的首要体例，大多都是通过增加光学体系精度实现的――而反复投影暴光技术，能够说是将这类思路持续到了极致！
除了沉浸式光刻技术这类独辟门路的取巧之道，日本人毫不信赖泛翰个人还能在其他方向产生冲破，他们手里的底牌也就是仅此罢了。
可惜，鹤田必定是不敢咬死人的。
但是究竟证明。中国人比他们设想的要强大的多。这对鹤田来讲，不啻是一个庞大的讽刺。
鹤田很想这么号令一声。如果让泛翰个人这么肆无顾忌的生长下去，说不定连摩尔定律都要被突破了。
以技术先进为傲的尼康，竟然会频频失利在一个小小的中国企业面前！这tm的不科学啊！
“呵呵，看来鹤田桑真是朱紫多忘事。”周硕不觉得意的耸了耸肩，暴露一口洁白的牙齿笑道：“您能够想想看，如果阿斯麦获得了反复投影暴光技术，intel是否还会如许有耐烦的等候下去？”
在0.35微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。根基上和出产的芯片，是一对一全比例设想。
把镜头和晶圆直接打仗，或者二者之间只要小裂缝的靠近，这类光刻机被称之为打仗、靠近式暴光技术。因为利用这类技术的光刻机镜头要和晶圆停止完整的打仗，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
“如何，尼康现在不想把我扫地出门了？”周硕低头抠动手指甲，心不在焉的问道。
他自以为用了一其中国成语还是很值得欢畅的事情，得意的笑着笑着却再也笑不下去了，因为劈面的周硕脸上始终都是冷冰冰的一片。
“呵呵，是不是真的，尼康能够本身求证一下。”周硕无所谓的耸了耸肩，轻松的笑道。
这类设想自有其好的一面，对镜头精度要求低，体系庞大度低，以及成像质量高之类的长处。但也有其致命的缺点，0.35微米工艺根基上就是其经济性的极限了。
周硕这话说完，俄然劈面噗通一声。鹤田在众目睽睽之下，竟然从凳子上滑了下去！
“五个亿？”鹤田吓了一跳，惊骇的看着周硕，矢口否定道：“甚么五个亿，我们尼康那里需求付出五个亿的违约金？”
他现在拿出来的这份文件，天然就是投影式光刻机的技术专利，能够说这项技术一出防水光刻胶就是一个废料了！
实在提及来，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以宣泄本身内心的畅快！
因而在本来的汗青上，尼康也好、阿斯麦也好都挑选了另一条路，那就是非打仗式暴光。也就是投影式暴光技术。
鹤田刚开端还不觉得然，在他的内心早就已经以为泛翰个人是砧板上的鱼肉。那里另有甚么翻盘的机遇？
0.25微米工艺光刻机想要持续打仗式暴光，全部体系需求的机器紧密程度，掩膜版的本钱、掩膜版和硅片的打仗紧密度，体系的集成难度都开端了多少级数的增加。
一个月五亿美圆的违约金确切是高，但intel也要有这个胆量来收。
周硕哦了一声，挑了挑眉说道：“那是我说错话了，尼康每月五个亿的违约金都能付出的起？”
“哈哈，尼康如何会有这类筹算！”鹤田大笑了一声，粉饰他脸上的难堪，晃着拨浪鼓似的脑袋说道：“泛翰个人是尼康最首要的合作火伴，我们毫不会做出这类……嗯，卸磨杀驴的事情。”
鹤田牙缝里再敢蹦个“不”字，尼康就要被管杀不管埋了。
在阿斯麦已经推出合作的明天，全部光刻机高端市场都落入了尼康的手里，尼康光刻机就是天子的女儿――不愁嫁。在这类合作干系下，条约就是一张纸，intel又如何敢真的去收尼康的违约金？
