第二百七十五章 检验
“咋回事究竟？我也看看！”
“如何回事？如何回事？”
赵院长谨慎的将晶圆接了过来，点头道：“谁晓得你是不是事前放了从其他处所获得的晶圆出来？要遵循我的说法，你起码应当在我们统统人的面前，再放一张晶圆出来。”
赵院长不置可否，他呛上这两句语气说是质疑，不如说是在表白态度。毕竟这个技术是有麻友公参与的，对本身亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术品德如何，贰内心清楚。即便糊口再如何艰巨，但学术造假必定不会落到他的头上。
前面几近每一小我，在看到显微镜下图案的时候，都不由自主的一付惊奇的神采。
“哎，快让我看看！”
赵院长四下找了一圈，很轻易就发明了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜，最大观察辩白率能够达到0.1微米程度。用来观察0.5微米线宽的集成电路，能够说是轻而易举。
中科院微电子中间出产的0.8微米工艺光刻机，其光源和光电成像照准体系都是光电所的佳构。作为光电所的一把手，赵院长对光刻机也算是大半个里手了。
国产光刻机的市场占有率，不但是九十年代，哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产，但是厥后海内晶圆厂甘愿买外洋入口的二手线，也不要他的国产货。
在光刻机上面，为何奇异的兔子能培养白菜定律，却恰好不起感化了？这一点也不奇特，因为一是核心设备没把握，尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去，产品便宜的再多架不住出产本钱高。
只见这张晶圆上面蚀刻的图案，竟然就是明天一早赵院长从面包车上跳下来的画面！另有甚么，比这个画面更有压服力的吗！
“我们改进了……”麻友公开了个头。俄然停顿了一下，无法的点头道：“我和研讨所签了保密和谈的，详细技术不能说。”
实在固然麻友公这多少算是叛出师门。但赵院长心底里却并不如何怨他的。一是光电所这些年来，确切有些对不起麻友公。二一个，内心多少也但愿本身的门徒能有一个好的归宿吧。
在场的统统人，除了保安部的安保职员以外，几近个个都和光刻机体系扯得上干系。天然也就都明白，泛翰研讨院是否已经把握了0.5微米工艺，答案就在这一刻了。
周硕呵呵笑着，将晶圆慎重的交到赵院长手里，点头说道：“能够有赵院长亲手测量，这是泛翰研讨院的幸运。我想在场的诸位，没有第二小我比赵院长更有公信力了。”
此时这张盘片上面的光刻胶，应当已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机。便能够按照光刻的途径蚀刻出集成电路。
只一眼，他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中间，才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那边明摆着，一共也没有出产出多少来。没体例，中科院当幕后老板，海内最有能够向这方面熟长的梦幻个人，都放弃了走技术线路。除非国度上马集成电路的大工程，不然底子没有哪个单位吃饱了撑的，会去采购国产光刻机。
“哼。你现在是人家的工人了，当然替店主说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着，眼睛却在光刻机上如何也挪不开。
周硕似笑非笑的看着赵院长，点头说道：“这张晶圆是不是我们泛翰研讨院出产的，赵院长一看便知。”
当然，以蜂巢尝试室内里的设备，有大把大把的体例能够对其停止察看和测量。
“诸位，我们泛翰研讨院究竟有没有把握0.5微米工艺技术。大师此时现在能够拭目以待了！这张单晶硅晶圆是我们改革以后的第一次光刻，我请你们记着1995年10月7日这个名誉的日子……”
“这套设备提及来，还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边，感慨的说道：“院子，非论泛翰研讨院的程度如何，起码他们确切是在踏结结实的做技术。就这一点上来讲，也不该该对他们过分苛求了。”
足足过了十多分钟，他才从显微镜前抬开端来，喃喃自语道：“竟然是真的，竟然是真的……”
“德行。”赵院长撇了麻友公一眼，看的他浑身不安闲。没体例，他这一身本身能够说，多数都是来自赵院长的传授。现在教员问他这点题目，本身却表示的仿佛甚么严峻奥妙似的，不免有些心虚。
“赵老，甚么真的、假的？你看到了甚么？”赵院长身边，一个焦心的带领抓着他的衣服就问道。
只是此时现在，仿佛统统人都已经健忘了他们的初志。只是全神灌输的看着那薄薄的单晶硅晶圆。心中却已经有些信赖泛翰研讨院已经实现了0.5微米工艺。
“这是！”赵院长那里会不晓得这是如何回事，光刻机里吐出来的晶圆大要上看并没有甚么分歧，但他晓得这已经是颠末端光刻的盘片。
总之这年初中科院微电子中间能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角，而此中的光电设备只一眼赵院长就看出来确切是出自自家之手。
“哎呀！真的！”
就在这时，光刻机前的唆使灯俄然从红色转换成了绿色，并且收回了一道短促的“哔――”声。
“啊！”赵院长竟然从尝试台前发展了半步，那模样就如同见到了鬼普通。
周硕几近是虔诚的，把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面，并且毫不游移的启动了蚀刻法度。
起码在1995年的集成电路制造程度，0.5微米的线宽，一部光学显微镜就已经充足、充足。
赵院长却没有多做计算，只是在光刻机前前后后的打着转，就不信本身的眼力还看不出来有甚么分歧。
从这方面来讲，他实在也了解麻友公保密的做法。借使改进技术真的有效，这内里触及到的但是数以亿计的款项。泛翰研讨院是私家公司。当然不成能让人敞开了看。
一张直径的晶圆盘片，从光刻机里被机器臂稳稳的送了出来。
赵院长很快就认识到了本身的失态，却来得及没有对世人做出涓滴申明，便又急仓促的一头扑向了显微镜。
周硕呵呵笑着制止了前面人的鼓噪，通过设备将显微镜观察到的图案，直接显现在了尝试室的投影幕布上面。
是的，他固然输了打赌，但仍然足以高傲。因为这是中国人缔造的古迹，是他的对劲弟子参与缔造的古迹。作为一个把平生已经奉献给共和国科学奇迹的老科学家，他虽输犹荣。
和光刻法度比起来，蚀刻的速率就快多了。几分钟以后，酸液已经把没有光刻胶覆盖的处所，腐蚀出了只要零点零几微米的微痕。藐小到非论是人的肉眼、或者是浅显的放大镜都没法发觉的境地。
身边此人带着较着思疑的神采，站在显微镜前看了一眼，顿时也“啊”的一声，发展了一大步！
他顿了一顿，嗤之以鼻道：“前些年社会上还风行过水变油的闹剧，搞起这类夸大的科学技术来，向来是把戏师比科学家有本领。”
世民气头一阵迷惑，赵院长一小我震惊也就算了，前面此人在有了心机筹办的环境下，如何还表示的这么不堪？
题目很简朴，若非是有实足掌控，周硕又如何有这个勇气，在世人面前完成蚀刻法度？乃至有的民气里已经打起了小算盘，遵循海内的传统，说不定是已经有了胜利经历以后，才玩的这个出炉把戏吧。
他收敛了一下脾气，猎奇的问道：“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机？究竟做了哪些改进？”
赵院长看了本身对劲弟子麻友公一眼，微微叹了口气。他站出来，自报奋勇道：“周先生，我来对这张晶圆停止测量，没有题目吧？”
“去！本身去看！”赵院长挺直了腰板，指向显微镜说道：“中国人，我们中国人一贯是长于缔造古迹的民族啊！”
“啊！”
“真的！是真的！”此人看完以后，竟然也有些失魂落魄似的，念念有词。
不管研讨服从如何，这起码申明周硕确切在实打实投入的研讨技术。赵院长看向自产业品的眼神，天然也就和顺了很多。
“那也不能申明甚么吧，说不定是他们搞了鬼呢。赵老，一个月时候把光刻机技术进步一代，这类放卫星的说法你也信？必定是有甚么障眼法，您可得擦亮眼睛啊！”
他谙练的操纵着尝试仪器，很快就做好了筹办事情。赵院长向显微镜里看畴昔，却不想竟然惊奇的喊了出来！
“确切是0.5微米线宽！”赵院长有些苦涩，却又有些高傲的说道。
当然，魔都微电子不管如何说，总还是做了一些成绩的。周硕固然内心可惜，但也明白国产光刻机不可，不是它一家的题目。
不管如何，周硕胸有成竹的模样，都让他们的态度在不自发间产生了窜改。
