第二百九十四章 截胡

这些技术困难，直接决定了反射镜的数量与范例。这些镜头设想的细节，每一点改进都意味着间隔胜利更近了一步。

“小江啊，快来我给你先容一下！”赵大健呵呵笑着，摆了摆手说道：“这是日本东芝来我们泛翰研讨院的考查团，给国际朋友们汇报一下我们的研讨进度，说不定还能给你的项目指导一二呢。”

“这……”江清月的神采不由得丢脸起来，有些活力的说道：“我们的技术线路分歧，一定就不能持续相沿石英质料镜头吧？何况现在研讨院已经在这项尝试上投入了很大一笔资金，这时候再变动研讨方向，个人那里拿得出来这笔钱？”

这类激光的一个特性是寿命极短，只要几十毫微秒的时候。超越这个时候，收回激光的分子，就会敏捷复原成本来的气体状况。此中193nm波长的激光，就是用来作为医治远视等眼部疾病利用的激光刀。同时，193nm的激光也是后代光刻机遍及利用的波长。

江清月在世人进入的时候，正操纵着一台氟氩气体激起的准分子激光器，测试将激光光源停止多次聚焦以后再规复成平行状况。

城三太郎几近是看到的第一眼，内心就大喊了一声“八嘎雅路！”。从几组透镜的安插来看，泛翰个人明显已经是在研讨0.35微米工艺的光刻机了！光刻机的加工精度分歧，利用的透镜数量、种类和安插都有非常多的讲究。

城三太郎翻开尝试记录，粗粗的扫了两眼，不由得就是暗自心惊。各种光波在分歧材质当中穿行，产生的窜改都不不异。193nm的准分子激光，想要利用在光刻机上，就必须对镜头停止全新设想。在此之前就必须详细的实验新质料，全面的体味镜头对激光产生的统统影响。

江清月迷惑的看了赵大健一眼，她在泛翰研讨院只是比较基层的研讨员，级别是比不上赵大健的。但赵大健卖力的是运营部，本身又管不到技术部的事情。她昂首向内里看去，却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头，这才放下了心来。

“这你怕甚么？个人很快就能获得一笔一亿美圆以上的订单，到时候天然有资金持续停止投入……”赵大健说了两句，俄然认识到当下的场合，赶紧收住了嘴巴，冷冷的哼了一声道：“这个题目上面自有考虑，激光尝试室先把石英质料的实验停下，做一做镥铝柘榴石的预研吧。”

这点把戏说穿了，实在毫不奇特。周硕穿越前的二十年后，高密度石英质料早就已经被研讨个透了。固然没有各项镜片的详细尝试数据，但其本身的各项特性却底子不是奥妙。从根本数据停止反向推算，很轻易就能获得实际上的尝试数据。当然这些数据在1995年的城三太郎看来，没有颠末实验是绝对不成能获得的。

作为尼康光刻机项目标参与者，城三太郎对当前最早进的0.35微米工艺光刻机，透镜的安插当然是了若指掌。他百分之百的必定，泛翰个人目前已经摸到了这项技术的门路，实现技术冲破恐怕只是时候题目了！

中国人甚么时候有这类程度了？这不科学啊！收起心中的惊奇，城三太郎大要上安静下来，冒充点头道：“你们在没有内部帮忙的环境下，能够做到这一步确切非常的不轻易了。不过目前看来石英质料带来的折射率，还是没法满足技术需求的。在我们日本，更加偏向于利用镥铝柘榴石来制作镜头。它的2.1折射率，能够极大的缩小线宽工艺。”

当今国际上，如果把芯片出产技术分红三个层次。那么1.2到0.8微米，能够算是上点层次的三流技术，至于1.2微米以上、乃至2微米以上的技术，已经根基没有存在的代价了。而0.5微米技术，能够算是二流技术，是现当代界上晶圆厂的支流程度。至于0.35微米工艺，就连尼康也不过才方才把握罢了。

“赵部长，你这是做甚么？”江清月看到一行人挤进了尝试室里，皱着眉头问道。

从尝试记录的成果上面来看，明显泛翰个人已经对高密度石英，停止了全面的激光测试。测试进度起码已经达到了80的程度，要晓得当全数测试完成以后，接下来要停止的就是镜片设想事情了。进入这个阶段，根基便能够看作是0.35微米工艺光刻机技术开辟，进入到最后的步奏了。

城三太郎这话说的也是半真半假，他当然不成能拿纯粹的谎话来乱来。泛翰研讨院能够走到这个境地，没有点技术功底是不成能的。但镥铝柘榴石本身却极难加工，对激光的影响和石英质料也完整分歧，如果泛翰研讨院真的转头去研讨这类质料，恐怕十年内都没有但愿获得服从。

“真的？”赵大健神采刹时变得很坏，向江清月怒斥道：“小江你们激光尝试室是如何回事？即便不能追上国际先进程度，但追踪国际程度也做不到吗？你听听，人家日本已经在利用镥铝柘榴石来制作镜头了，你们还在做石英质料的实验，这如何能够满足我们运营部的需求？”

“北通衢先生，你看我们的激光技术如何样？这套准分子激光设备，是我们泛翰研讨院自行研制的，能够天生193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑，将日本查抄团领进了尝试室。

“我能看看你们的尝试记录吗？”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求，中国人或答应以摆一个花架子来骗他，但绝对没有体例编出一套精确的尝试成果来。如果这类尝试记录都能编出来，那更申明他们把握了这项技术……

能够测试出完整精确的镜头数据，这申明中国人已经把握了0.35微米光刻机所需的镜头加工技术。这对尼康来讲，的确就像是在乡间小河沟里，俄然钓出来一条明白鲨一样。

这俄然之间，在中国这类科技荒凉的国度里，城三太郎竟然发明了天下一流的光学镜片加工程度，岂不是过分于荒诞了吗！

想来泛翰个人依仗的，就是华晶那笔庞大的采购计划。如果国际上仍然对峙对华技术禁运，那么这笔上亿美圆的订单，必定就会落在他们的头上，当然也就会度过这段资金严峻的期间。城三太郎俄然想到：如果这个时候，本来不会了局的尼康，俄然抢走了他们这笔买卖……rs

一旁的日本翻译，精确的将江清月的这句话翻译了畴昔，这让城三太郎面前一亮。光刻机镜头的研发，是非常破钞款项的。目前的亚微米阶段，固然比将来的纳米期间要便宜的多，等闲也是要几亿美圆扔出来，才气有点服从出来。一家中国企业，因为开辟光刻机而耗光了资金，仿佛并不是过分奇特的事情。

“小江，还不快把你们的尝试记录拿出来，给城三太郎先生看看？”赵大健说着，还回过身来道歉道：“城三先生是东芝方面的光刻技术专家，您略微指导两句，必定会让我们获益很多。”

“那里，我想以中国人的聪明，必然能够获得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了尝试记录，也就不在乎多客气两句了。在日本越是受教诲程度高的人，对汉语浏览就越流利，倒是不消担忧他会看不懂尝试记录。

“赵桑，这些数据都是你们本身的镜头，测试出来的成果吗？”城三太郎非常焦心的问道，他如许的题目能够说是非常的不规矩，但这个时候已经没有表情去计算这类小事了。

“我们的实验正在测试高密度石英质料制作的镜头，在颠末多次反射折射以后，停止色差赔偿的计划……”

准分子激光普通是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体，遭到电子束激起构成的激光。光子能量波长范围在157－353nm之间，因为激光是在气体遭到外来能量的激起，所引发的一系列物理及化学反应中，曾经构成但转眼即逝的分子收回的，以是被称之为准分子激光。

“色差赔偿！”城三太郎微微一愣，脸上的神采就有些生硬了。如果说之前他还只是思疑，那么听到江清月的研讨内容，就几近是坐实了泛翰个人在0.35微米工艺的技术上，必定是获得了不小的冲破。色差赔偿是光刻机研讨范畴，非常首要的内容。通过使色差最小化，能够按捺由激光带宽变动所引发的光学邻近效应。比如部分光斑、入射角和热象差、偏振状况节制才气的保持。

一七三所前研讨员江清月，恰是在这个尝试室里，停止着本身的事情。所谓准分子激光，并非是对激光本身属性停止的描述，而是特指的收回激光物质为准分子。